光学产品/
光学产品

MMS-ZFA 2010测量显微镜是我司独立开发的,是具有裂像功能的一款新型显微镜。其以影像法测量原理为基础,采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。除了观察测量点的表面状态外,还能对高度、深度、高低差等进行精密测量。本仪器还具有明暗场,偏光的观察功能,所以特别适合对极细微的间隙高低差、夹杂物、突起、细微划痕进行观察。
 

本产品适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察。


也适用于几何形状的显微观测,并且有三维的计量功能。因此是精密零件,集成电路,半导体芯片,光伏电池,光学材料等行业的必备仪器。


软件界面:





技术规格:
型  号

 MMS-ZFA 2010测量显微镜

 测量范围

 200*100*50mm

 精度(单位:mm)

 XY单轴:(3 + 5L/1000)μm

 Z轴(@放大倍率 20X, 50X) :(2.5 + L/100)μm

 解析度

 0.0005 mm

 光   源

 1、同轴光:白色LED冷光源  可变孔径光阑,中心可调;可变视场光阑,中心可调;

 2、轮廓光:白色LED轮廓照明

镜头特点 

 5X (WD=10.8mm),10X(WD=10mm),20X(WD=11.1mm),50X(WD=7.8mm)

三通观察筒

 25°倾斜铰链式正像三通观察筒

转换器

 内定位5孔转换器

起偏镜插板

 固定式起偏镜插板(反射用)

检偏镜插板

 360°旋转式检偏镜插板(反射用)

影像摄取系统

 1/3″彩色USB-CCD相机 逐行扫描,日本SenTech

仪器结构

1、铸铁基座保证整体稳定性,水平玻璃工作台

2、无间隙丝杆载物台保证测量精度

3、先进的裂像辅助对焦功能(FA),保证了高精度的Z轴测量结果

4、XYZ三轴均配有高精度光栅尺

5、机器平台配有水平衬垫

测量软件

MeasurE 2000