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光学产品

  MLV-100显微激光测振仪通过显微光学系统可实现对微小物体的振动测量,使激光光斑达到微米量级,提高测量的准确性,并可通过显微成像系统实时观察物体的振动状态。
        随着MEMS的日益发展,显微式激光测振仪可以测量MEMS元器件的振动和形貌,是专门对微结构的振动测量以及可视化测量分析的理想工具。

 技术规格:

点直径*

大约10um

 频率响应范围*

DC to 25KHz DC to 100KHz DC to 1MHz/2.5MHz

测量速度范围

法向*

50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s

切向* 150mm/s, 1500mm/s, 15m/s30m/s

滤波设置

高通、低通滤波设置

显微镜

目镜

放大倍率 W.D

光束直径

5X 34mm 30um
10X 34mm 20um
20X/50X 20mm/13mm 10um/2um

 X-Y平台

尺寸

100X100mm

移动范围

+/-10mm

分辨率

0.001mm
*可根据客户要求,并可为客户定制